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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室“体育竞猜平台”

本文摘要:近日,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室金春水研究团队在极紫外多层膜膜薄产于超高精度掌控研究方面获得新进展:通过使用遗传算法,构建了200mm曲面基底上极紫外多层膜膜薄产于控制精度高于0.1%,镀膜引发的不能补偿面形误差大于0.1nmRMS,涉及指标超过国际先进设备水平。涉及结果在线公开发表于近期的OpticsLetters(dx.doi.org/10.1364/OL.40.003958)上。 极紫外多层膜反射镜是极紫外光刻系统的核心光学元件。

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近日,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室金春水研究团队在极紫外多层膜膜薄产于超高精度掌控研究方面获得新进展:通过使用遗传算法,构建了200mm曲面基底上极紫外多层膜膜薄产于控制精度高于0.1%,镀膜引发的不能补偿面形误差大于0.1nmRMS,涉及指标超过国际先进设备水平。涉及结果在线公开发表于近期的OpticsLetters(dx.doi.org/10.1364/OL.40.003958)上。

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  极紫外多层膜反射镜是极紫外光刻系统的核心光学元件。极紫外光刻系统必须高性能的极紫外多层膜,还包括低反射率,较低形变,低稳定性和低均匀分布性。

对于极紫外光刻系统中的投影物镜,必需对镀制在其上的极紫外多层膜展开超高精度的膜薄产于掌控,以便构建波长给定和增大镀膜引发的面形误差。  该研究团队使用遗传算法,已完成了磁控溅射喷发物源特性参数的反演和用作掌控膜薄产于的马克斯·沃夫调压曲线的反演,防止了必要测量磁控溅射速率空间产于的繁复过程,增加了极紫外多层膜膜薄掌控工艺的递归次数,大大降低了取得超高膜薄产于精度极紫外多层膜反射镜的工艺成本。  该工作获得了国家科技根本性专项-02专项项目经费的反对。


本文关键词:中国科学院,长春,光学,精密机械,与,物理,体育竞猜平台

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